特性
顶级性能
1 - 8 传感通道
可用的模块包括:
CPL190 单范围电容式传感器模块
CPL290 双范围电容式传感器模块
MM190 显示器/峰值捕获模块
可选用 插槽-1、2、3、6 及 8
zhicLabVIEW™
在订购探头时可指定为真空兼容型。
为满足特殊应用及开箱即用的可用性,Elite 系列传感器提供灵活的自定义配置。
CPL 系列电容式传感器模块是具有顶级性能的传感器。分辨率可低至亚纳米级。前面板测量范围指示灯和粗泛、精细调零模式使其更易于设置。
采用单一探头对 CPL190 进行单范围校准。
可选择单一探头或两个不同探头对 CPL290 进行双范围校准,实现终极的灵活性。
测量范围:10 微米 - 6 毫米
可切换双范围/灵敏度 (CPL290)
±10 V 输出
15 kHz 带宽
0.004% 分辨率 @ 15 kHz 标准 (RMS)
用户可选择带宽滤波器,实现更高的分辨率(100 Hz、1 kHz、10 kHz)
小相位转换 - 伺服应用的绝佳之选
粗调/精调零位
禁用零位调节
测量范围指示灯可视化
单或多通道机箱
for LabVIEW™
在订购探头时可指定为真空兼容型。
由于 Elite 系列具有较高的分辨率,因此向某些国家出口时需办理出口许可证。
标准规格。分辨率和线性度取决于探头、测量范围及带宽。请见左侧CPL190/290探头量程与精度
分辨率 | 0.002% - 0.004% F.S.标准型 |
带宽 (-3db)(PCB Dip 开关) | 15 kHz、10 kHz、1 kHz、100 Hz |
线性度 | 0.2%F.S. |
误差范围 | 0.3%F.S. |
最大漂移 | 0.04%F.S./°C |
BNC 输出电压 | ±10 V |
BNC 输出阻抗 | 最大 0 Ω,15 mA |
后面板 NI 接口连接器 输出电压 | 压差 ±10 V |
操作温度 | 4°C-50°C |
高亮显示尺寸单位
英制或公制单位显示选择
双通道信号叠加
峰值捕获功能
- 最大值
- 最小值
- TIR
- 追踪 TIR
信号处理后的电压输出
所有模块均封装在 1、2、3、6 或 8 通道系统内,取决于测量通道的数量和支持模块的排序。
BNC 输出范围误差: | -3.0% |
内部范围误差: | 0.2% |
差分误差: | 0.2% |
叠加误差: | 0.2% |
追踪相对于频率的 TIR 误差: | 10 Hz:-15.0% 100 Hz:±0.3% 1 kHz:±1.5% 5 kHz: ±4.0% |
相对于输入频率的 TIR 误差: | DC:-15.0% 1 kHz:±1.3% 5 kHz: ±4.0% |
峰值减弱: | 1 mV/15 秒 |
BNC 输出阻抗: | 150 Ω |